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美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵

更新时间:2020-06-05

简要描述:

美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵,不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高纯氩气氛围下和温度*的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业出色泵解决方案。

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Turbo-V 3K-G(如 V 2K-G 一样)不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高纯氩气氛围下和温度*的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业出色泵解决方案。

美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵特性:

1,“一体化”系统
2,同类产品中抽速高
3,无油、耐用、可靠
4,MTTF 超过 200000 小时
5,转子设计大幅度降低了重量和机械应力
6,拥有zhuanli的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力
7,采用了安捷伦 A-PLUS 软件(原 T-plus)

涡轮分子泵应用范例:

安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到稳定性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统

美国安捷伦Turbo-V 3K-G涡轮分子泵技术规格:

抽速:

N2:2200 L/s

He:1900 L/s

Ar:2050 L/s

压缩比:N2:> 1 × 107He:6 × 103Ar:1 × 108
极限真空*(使用推荐的前级泵)< 1 × 10-8 mbar  
入口法兰ISO 250F  
前级管道法兰KF 40 NW  
额定转速31800 rpm  
使用推荐前级泵,无气体负载的启动时间< 6 分钟  
前级压力< 0.5 mbar  
推荐的小前级泵> 60 m3/h(取决于气体流速要求)  
工作位置任意位置  
冷却要求  
重量 ISO (250)52 kg(114.63 磅)  
 
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