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安捷伦涡轮分子泵TwisTorr 84 FS
更新时间：2020-06-06
简要描述：
安捷伦涡轮分子泵TwisTorr 84 FS，悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证优质的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。
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安捷伦涡轮分子泵TwisTorr 84 FS简介：
采用 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动级技术能提高小分子气体（如氢气和氦气）压缩比，从而实现大抽气量和城耐受高前级压力，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证轴承工作条件，从而能延长工作寿命，减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
安捷伦涡轮分子泵TwisTorr 84 FS特点：
- 创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统体积。
- 耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
- 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，优质的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
- 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
- 铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。
技术参数：
抽速：CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸 配置：KF 40 配置： |
N2：56 L/s N2：49 L/s |
He：46 L/s He：38 L/s/ |
H2：40 L/s H2：36 L/s |
Ar：57 L/s Ar：44 L/s |
全转速气体流量（使用推荐的前级泵） | N2：100 sccm | Ar：70 sccm |
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压缩比： | N2：≥ 1 × 1011 | He：2 × 106 | H2：5 × 104 | Ar：> 1 × 1011 |
极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) |
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入口法兰 | CF 4.5 英寸（外径） | ISO 63 |
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前级管道法兰 | KF 16 NW |
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转速 | 81000 rpm（驱动频率 1350 Hz） |
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启动时间 | < 2 分钟 |
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推荐的前级泵 | 机械：DS 40M-DS 102 |
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工作位置 | 任意位置 |
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操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C |
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空气相对湿度 | 0 至 90%（非凝缩） |
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烘烤温度 | 入口法兰极限温度 120 °C（CFF 法兰） 入口法兰极限温度 80 ℃（ISO 法兰） |
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润滑油 | 长久性润滑 |
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冷却要求 | 风冷： | 气流温度 +5 °C 至 +35 °C |
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噪音压力级别（全速运行时距离 1 m 处） | 40 dB(A) * |
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储存温度 | -40 °C 至 +70 °C |
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产品应用极限海拔 | 3000 m |
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认证 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 |
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重量 kg（磅）： | 泵 ISO 63： | 泵 CFF 4.5 英寸： | 泵 CFF 2.75 英寸： | 泵 KF 40： |
