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Agilent涡轮分子泵TwisTorr 704 FS

更新时间:2020-07-14

简要描述:

Agilent涡轮分子泵TwisTorr 704 FS,悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证优质的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,减少系统停机时间,并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 704 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

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Agilent涡轮分子泵TwisTorr 704 FS简介:

Agilent TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证优质轴承工作条件,从而能延长工作寿命,减少系统停机时间,并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 704 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

Agilent涡轮分子泵TwisTorr 704 FS特点:

创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体的高压缩比实现了高性能和最小的系统占用空间。

高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。

安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动、低噪音和优质轴承工作条件可延长泵的使用寿命,从而实现使用维护成本优化,减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。

独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。

“三维”泵控制软件使灵活性、速度和简便性拥有显著的提升,可在泵的操作条件下达到优质通量和压缩性能。

性能指标:

抽速:ISO 160/CF 8 英寸 
N2
He
H2
Ar
660 L/s
640 L/s
480 L/s
625 L/s
 
全转速气体流量(使用推荐的推荐前级泵)*环境温度 (25 °C)水温:
(25 °C,50 L/h)
He7.9 mbar L/s
467 SCCM
10.4 mbar L/s
615 SCCM
N24.3 mbar L/s
255 SCCM
6.2 mbar L/s
367 SCCM
Ar1.5 mbar L/s
89 SCCM
3.3 mbar L/s
195 SCCM
(*) 前级泵 11.6 m3/h  
压缩比与前级耐压关系*  
N2
He
H2
Ar
> 1E + 11
2E + 08
3E + 06
1E + 11
10 mbar
10 mbar
4 mbar
8.5 mbar
(*) 前级耐压定义为,在水冷模式下,当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力  
采用推荐前级泵时的极限真空< 1 × 10-10 mbar
(< 1 × 10-10 Torr)
 
抽气口法兰ISO 160K,ISO 160F,CFF 8 英寸 
前级管道法兰NW25(NW40 为可选附件) 
推荐的前级泵DS302
IDP10
IDP15
 
工作位置任意 
操作环境温度+5 °C 至 +35 °C 
润滑润滑 
冷却要求  
风冷空气温度由 +5 °C 至 35 °C 
水冷水温由 +15 °C 至 +25 °C
水流速最低 100 L/h
 
噪音压力级别
(全速运行时距离 1 m 处)(磅):
43 dB(A) 

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