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Agilent VacIon Plus 500离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VaclonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。
Agilent VacIon Plus 500离子泵具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Agilent VacIon Plus 500离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VaclonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以高速度和大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
特性:
1.单元室采用优化设计,可大限度提高排放强度和抽速
2.离子泵在真空状态下运输
3.具有宽广的抽速范围(从 0.2 L/S 至 1000 L/S)
4.可提供多种泵体配置
5.联锁的真空密封穿导件连接方便,并可避免腐蚀和大限度缩小泵的总体尺寸
6.三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
7.陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
性能指标:
技术指标:
| STARCELL® | 改进型二极离子泵 | 二级泵 |
氮气名义抽速 (*) (L/S) | 410 | 440 | 500 |
在 1 X 10-6 MBAR 压力下的工作寿命(小时) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
大启动压力 (MBAR) | ≤ 1X10-2 | ≤ 1X10-3 | |
极限真空 | 低于 10-11 | ||
抽气口法兰 | 8 英寸 CFF (NW 150) AISI 304 ESR | ||
烘烤温度 (℃) | 350 | ||
重量,KG(磅) | 120 (264) |
(*)根据ISO/DIS3556-1-1992测试
抽速与进气口压力关系
外形图
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