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Agilent VacIon Plus 150离子泵

更新时间:2020-10-10

简要描述:

Agilent VacIon Plus 150离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。它还能以高速度和大容量抽除甲烷、氩气和氦气。

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Agilent VacIon Plus 150离子泵具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VacIon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VacIon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。它还能以高速度和大容量抽除甲烷、氩气和氦气。StarCell VacIon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

Agilent VacIon Plus 150离子泵特性:

1.单元室采用优化设计,可大限度提高排放强度和抽速
2.离子泵在真空状态下运输
3.具有宽广的抽速范围(从 0.2 l/s 至 1000 l/s)
4.可提供多种泵体配置
5.联锁的真空密封穿导件连接方便,并可避免腐蚀和大限度缩小泵的总体尺寸
6.三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
7.陶瓷绝缘子可延长泵的寿命

性能指标:

技术指标:

 StarCell®改进型二极离子泵二极泵
氮气名义抽速 (*) (L/s)125135150
在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命(小时)80,00050,00050,000
大启动压力 (mbar)≤ 1x10-2≤ 1x10-3
极限真空低于 10-11
抽气口法兰6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR
MAX烘烤温度 (℃)350
重量,kg(磅)43 (94)

(*) 根据 ISO/DIS 3556-1-1992 测试

抽速与进气口压力关系

外形图

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